光波导光学相控阵具有响应速度快、驱动电压低、扫描角度大等特点，成为激光扫描技术最有潜力的研究方向之一。由于制作工艺的限制、入射光的影响及控制系统误差，导致辐射场光束发生畸变，降低了衍射效率和扫描精度。因此，研究光波导相控阵的波束校准及优化方法，对于提高光波导相控阵光束扫描质量具有较高的研究价值。论文介绍了光波导相控阵的结构组成和工作原理，基于理想光栅衍射模型，给出了光波导相控阵系统的加电方案；基于平板光波导的电磁理论及基尔霍夫积分公式，分析了光波导阵列的光场分布，建立了耦合波方程组及完整的空间辐射场模型，并利用BeamPROP软件验证了该模型的可靠性；在此基础上，通过对波导结构参数、入射光源及控制系统误差等非理想因素的仿真分析，表明出射端光场相位畸变是辐射场光束畸变的主要原因；最后，提出了基于相位补偿的波束校准与优化方法，设计了自适应相位补偿方案，并分别采用基于模式搜索和相位恢复的相位补偿算法进行了仿真分析。两种算法都能补偿相位误差实现波束的校准和优化，相比之下，基于相位恢复的相位补偿算法有效利用了光场中的先验信息，收敛速度更快，性能更好。