【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法,以三氯化铁和无水乙醇为反应起始物,经加热回流,水解、热处理等工艺,成功地制备了纯的掺锡的超微粒子α-FeO气敏薄膜,并制成气敏元件.元件性能测试表明,材料
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采用溶胶-凝胶法,以三氯化铁和无水乙醇为反应起始物,经加热回流,水解、热处理等工艺,成功地制备了纯的掺锡的超微粒子α-Fe<,2>O<,3>气敏薄膜,并制成气敏元件.元件性能测试表明,材料对丙酮具有很高的灵敏度、快速的响应-恢复特征和较好的选择性和稳定性.低浓度的锡掺杂提高了它的灵敏度,而高浓度的锡掺杂反而抑制了灵敏度.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)等分析实验,研究其微观结构、形貌以及粒度随化学组份、热处理温度的变化规律,在一定的烧结温度下粒径小于50nm.根据实验所得规律,以及现有的理论实验基础,从宏观和微观的角度对α-Fe<,2>O<,3>薄膜元件气敏机理加以探讨.
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