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静压气体轴承因具有摩擦小、速度快、精度高、无污染、热稳定性好等突出优点而广泛应用于精密测量、超精密加工和微细加工等精密工程领域。随着加工和测量技术的持续发展，对运动定位精度的要求不断提高，但受轴承内非稳定气体流动的影响，静压气体轴承产生的纳米级宽频微幅自激振动严重制约着气浮运动系统精度的进一步提高。针对此问题，本文分析了静压气体轴承宽频微幅自激振动的内在机理，并进行了相应的实验研究，主要完成了以下几方面的工作：(1)采用大涡模拟分析了小孔节流静压气体轴承内气体流动特性，发现在节流孔出口附近的