微注塑成型是一种可以进行大批量生产微小尺寸或带有局部微细结构塑件的塑料成型加工技术。然而由于微型塑件的整体或局部结构尺寸微小,成型时经常发生填充不满等质量缺陷,严重影响了微型塑件在微系统领域地广泛应用。因此,研究提高微型塑件成型质量的有效技术与方法,是微注塑成形技术研究的重要内容之一。本文以基板上均布有6×16个直径为Φ200um,高为280μm的微圆柱阵列型塑件为对象,研究了在超声振动和抽真空辅助作用下,微圆柱阵列的填充特性和成型质量。首先,针对微圆柱阵列塑件的重复结构特点,设计了具有超声振动和抽真空功能的微注塑成型模具。并采用线电极磨削和高速铣削两种加工方法,制造了加工微圆柱阵列模具型腔的单个微细电极和微圆柱阵列电极,分别在微细电火花机床上进行了微圆柱阵列盲孔型腔的微细电火花加工,得到了成型微圆柱阵列塑件的模具型腔。检测结果表明,用线电极磨削法加工的电极,得到的微圆柱型腔加工尺寸精度高,但效率较低；而高速铣削加工的电极,得到的微圆柱型腔加工尺寸精度较低,但效率高。然后,利用设计制造的微注塑模具,在精密注塑机上进行了不同聚合物材料的微圆柱阵列塑件的正交实验和短射成型实验,研究了不同注塑工艺条件下,未加超声振动和施加超声振动作用时微圆柱阵列模具型腔的填充性能,分析了聚合物熔体填充盲孔微圆柱型腔的影响因素,获得了超声参数变化对微圆柱阵列塑件填充质量的影响规律,以及成形合格质量微圆柱阵列塑件的最佳超声参数与成型工艺参数组合。最后,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和红外光谱仪(IR),对实验获得的微圆柱阵列塑件进行了微观结构观测,分析了抽真空和超声外场分别单独作用及共同作用时,实验获得的聚丙烯微圆柱阵列塑件的内部结晶结构、晶体类型及凝聚态形成与塑件成型质量的内在联系,找出了影响微圆柱型腔填充性能的主要因素。