PZT基多层压电陶瓷的制备及作动器件

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【摘要】

：

压电作动器具有控制精度高、响应速度快、线性度好、功耗低等优点,已被广泛应用于电子、通信、医学等诸多领域。与此同时,随着科学的发展,单层压电作动器驱动电压高、位移太小,已经没法满足当前低电压下大位移、大推力的需要。为了克服这一缺点,多层压电作动器受到了越来越多的关注。本文采用了两种方法来制备PZT基多层压电作动器,对其性能进行了研究,并探索了其在新型器件中的应用。采用先进的低温共烧陶瓷(LTCC)技

【作者】

：

范抗抗

【机构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2015年03期

【关键词】

：

PZT基压电陶瓷多层压电陶瓷作动器低温共烧陶瓷陶瓷片粘接压电振动马达

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