【摘 要】
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为了提高红外探测器的灵敏度,本文针对红外探测器元件滤光膜的技术要求,采用Si和YbF3的膜料组合,依据薄膜理论,设计干涉截止滤光膜,满足了三个波段对光学性能的要求,并且在实
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为了提高红外探测器的灵敏度,本文针对红外探测器元件滤光膜的技术要求,采用Si和YbF3的膜料组合,依据薄膜理论,设计干涉截止滤光膜,满足了三个波段对光学性能的要求,并且在实际的制备过程中,优化了真空室内的真空度、烘烤温度和基底温度、Si和YbF3的蒸发速率、以及离子辅助沉积等工艺参数。通过多次实验研究,对设备的本身误差进行分析修正,提高了蒸镀Si和YbF3时的膜厚晶控控制精度,在蓝宝石基底上成功镀制了1064nm透射率为91.5%、1200nm～2900nm波段范围内平均反射率大于97%、3000nm～5000nm波段范围内平均透射率为93%的三波段干涉截止滤光膜,简单分析了综合测试结果和实测光谱曲线。
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