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钇铝石榴石晶体(YAG)是激光晶体材料领域最常用的基底材料,通过掺杂稀土离子,可广泛应用于激光武器、激光加工与测量等方向。随着激光技术的不断发展,人们对激光晶体的表面质量与面形精度提出了更高的要求。表面粗糙度和平面度难以同时保证一直是制约YAG晶体加工质量的重点与难点。本文针对YAG晶体的研磨抛光制定了一整套工艺方案,旨在提出协调控制YAG晶体表面质量与面形精度的方法,主要内容如下:(1)研究了YAG晶体的机械研磨工艺,在粗研磨阶段确定采用W7的B_4C磨粒,精研磨阶段采用W2.5的Al_2O_3磨