微波等离子体化学气相沉积(MPECVD)是利用微波使反应腔(一般为石英管)中的低压气体发生辉光放电而产生低温等离子体，利用等离子体中的高能电子和反应原料产生非弹性碰撞而使原料电离或激发，降低化学反应所需的能量，从而在相对较低的温度下实现化学气相沉积的过程。在文献报道中，MPECVD法常用作薄膜沉积、表面改性、有机气相合成以及超细氧化物粉末的制备等。本论文在微波等离子体化学气相沉积法制备纳米材料方面进行了如下探索： 1、以微波等离子体为加热手段，在低气压、低气流的情况下气相沉积制备得到了活泼金属锌的纳米球状单晶颗粒，对其进行了扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)以及能谱面扫等表征以确定其成分及结构，并提出了可能的生长机理。 2、在微波等离子体的加热下，以乙醇作为稀释气体，在受激锌蒸汽的作用下，首次以气相沉积法在硅片上制备得到了无定形二氧化硅纳米空心微球。 3、以锌粉为原料在无催化剂辅助诱导的情况下用化学气相沉积法(CVD)制备得到了氧化锌纳米阵列，并基于微波等离子体化学气相沉积法具有加热速度快、被加热物受热均匀以及沉积反应截止性好等特点，初步比较了MPECVD法和常规CVD法制备氧化锌纳米阵列的差异。 另外，还探索了在高温熔盐离子液体中分解制备非常规方向(非c轴)生长的氧化锌纳米线，研究了各种不同反应条件对产物制备的影响，找出了大量得到目标产物的实验条件，并对产物进行了x-射线粉末衍射(XRD)、SEM、TEM、HRTEM等表征，对其光学性质作了初步研究。