【摘 要】
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该文针对微电路生产的实际特点,在工艺不合格品率为PPM水平时,讨论了等效工序能力指数的概念和计算方法.引入了一种名为皮尔逊(Pearson)分布的概率分布族并对其七种不同类型
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该文针对微电路生产的实际特点,在工艺不合格品率为PPM水平时,讨论了等效工序能力指数的概念和计算方法.引入了一种名为皮尔逊(Pearson)分布的概率分布族并对其七种不同类型的概率密度函数作了深入的分析与研究.在对各型皮尔逊分布的中心矩与原点矩的研究基础之上,介绍了针对该分布的优化拟合方法,得到了各分布类型的参数并实现了其在工序能力评价中的应用.对比结果令人满意.在可靠性设计方面,介绍了集成电路可靠性设计的一般方法.影响铝互连的电迁移失效的各种因素中,电流密度是主导因素.
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