φ1.1m平面镜的瑞奇-康芒检验方法研究

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随着光学技术的不断发展,高精度、大口径光学平面镜在空间光学、强激光等光学领域得到了广泛的应用。大口径光学平面镜的加工需要有相应的高精度检验方法。本论文基于“Φ1.1m平面镜的瑞奇—康芒检验”的研究课题,研究了大口径光学平面镜的瑞奇—康芒检验方法。根据瑞奇-康芒检验的原理,对瑞奇角、平面面形偏差与系统波像差之间的关系进行了详细的推导。利用ZEMAX光学设计软件构建了Φ1.1m平面镜瑞奇—康芒检验的仿真实验装置,并模拟了常见的几种平面镜面形偏差对平面镜检测结果的影响,模拟了不同瑞奇角下的检测结果
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