本论文主要研究了在压力传感器中有重要应用前景的NiCr合金薄膜的制备、表征、微观结构和电学特性。包括如下几个方面内容：首先，回顾了NiCr合金薄膜的发展和有关研究结果。然后采用磁控和离子束溅射两种方法制备出了NiCr合金薄膜，采用离子束方法制备了含氮NiCr合金薄膜，对溅射态的薄膜样品进行了热处理。用EDX、AFM、xRD、Alpha-step IQ台阶仪、标准四探针法(FPP)等测试分析手段对薄膜成分、微观结构、厚度、电学特性等进行了研究，同时采用悬臂法和自行设计的实验装置测量了薄膜的电阻应变系数(GF)、电阻温度系数(TCR)。通过试验结果分析得到如下主要结论：采用磁控共溅射方法和离子束溅射方法可有效、准确控制NiCr合金薄膜的厚度：采用磁控共溅射方法，以调节靶材溅射功率为基础，考虑薄膜元素的溅射产额可以控制薄膜组分比；不同厚度薄膜样品的AFM和FPP研究表明薄膜表观颗粒尺寸随厚度有增大趋势，而电阻率随厚度增大而减小：热处理后的薄膜XRD、TCR、电阻特性表明热处理使薄膜晶化，薄膜在一个温度周期内电阻迟滞减小，薄膜的电阻性能趋于稳定。氮气分压增大减小了薄膜的沉积速率，氮气的加入对薄膜表面颗粒尺寸长大起一定的阻碍作用。热处理后，薄膜表观颗粒尺寸和电阻迟滞随氮气压的增大而减小。