超导体是二十一世纪最重大的发现之一,它将引领一次新的技术革命。高温超导体YBa2Cu3O7-δ(YBCO)以其可以工作在液氮温度以上,且较易制备而被广泛研究。其主要的应用领域可分为三个方向:大电流应用、小电流应用及抗磁性应用。我们所关注的是制备YBCO外延膜并将其应用在小电流方面,如微波滤波器等。因为较之传统的铜制微波滤波器,用YBCO外延膜制作的超导微波滤波器具有插入损耗低、带边陡峭度大及带外抑制性好等优点。而在制备YBCO外延膜上,我国现在还没有大批量制备大面积YBCO外延膜的自主知识产权技术。本论文利用自行设计并搭建的以不锈钢反应室为主体的光辅助MOCVD系统,通过摸索各种系统参数及工艺步骤,成功制备出1英寸单面及双面高质量YBCO外延膜。并在实验上验证了系统在2英寸衬底上制备YBCO外延膜的可行性,但某些方面仍需改进。经测试1英寸双面YBCO外延膜满足制备微波滤波器的各项指标(Jc > 1MA/cm2 , Rs < 0.5m?)。另通过在不同衬底上生长YBCO外延膜,总结出各种不同衬底在光辅助MOCVD系统中生长YBCO外延膜的优缺点,为进一步的研究提供参考。