静电雾化沉积制备薄膜材料的研究

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以往的研究主要对大尺度静电雾化的荷电与雾化特性、充电方式、电极结构和荷电两相流场进行深入的研究。本文对微尺度静电雾化进行研究,主要工作是将静电雾化引入到薄膜材料的生长过程中,旨在探索一种新型的薄膜制备技术。为了更微观更本质地了解微尺度静电雾化流体流动和沉积特性,设计了静电雾化沉积制备薄膜实验台,应用先进的PDA、PIV技术对静电雾化粒径、流场进行实验测量,对毛细管静电雾化模态、流场等进行分析,本文研究工作的主要内容如下:1.分析静电喷雾技术、静电喷雾实验测量的研究进展,探索微尺度
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