硅片是光伏产业和芯片产业中极为重要的生产原材料,而这些年光伏产业迅猛发展,也使得硅片的需求量大大增加。硅片切割加工又是硅片生产中的一个重要环节,其加工设备——多线切割机是一种机电一体化程度、运行精度都较高的专用装备。多线切割机设备配有多个不同类型的轴承箱以支撑相关部件的运转,轴承箱往往是多线切割机的重中之重,轴承箱的密封问题较为突出并且内里的轴承极为容易损坏,迫切需要一种方法能够检测硅片多线切割机中轴承箱轴承的疲劳情况。而对轴承进行定期的检测,既能够防止生产过程中事故的发生,而且也能够减少重要部件的随意更换,最大效率地利用轴承,因而轴承故障诊断一直都是机械相关的重点研究技术之一。基于上述原因,本论文针对多线切割机轴承箱故障诊断进行了相关的研究。本论文首先论述了滚动轴承的振动机理以及多线切割机的轴承箱,然后确定适合于多线切割机轴承箱故障诊断的振动信号检测方法,主要是以基于快速Kurtogram的共振解调分析为主,通过对轴承内圈做电火花点蚀来模拟轴承内圈故障,进而利用USB-4711A采集卡将轴承箱上的振动信号采集并传送到程序中进行具体的分析。整套软件主要包括数据采集、快速Kurtogram分析、共振解调分析、故障频率设置四个单元。本论文采用LabVIEW语言开发多线切割机轴承箱故障诊断程序,整个程序主要是以多线切割轴承箱内的NU-1018轴承为检测对象,通过传感器、采集卡以及笔记本电脑,采集实验数据以及分析结果。而在实际的软件当中主要运用的是基于快速Kurtogram的共振解调法,另外运用到的时域分析法以及共振解调法都是方便与其进行对比实验的,方便验证在检测轴承故障诊断的时候,快速Kurtogram法能够克服共振解调法中心频率和频带难以选择的局限性。本论文的最后,分别采用了实验信号和实际信号分别验证了该方法对于多线切割机轴承箱的适用性。