动态干涉测试技术具有非接触、高精度、抗振动的优点,在天文光学、强激光、核聚变等领域中得到了广泛应用。目前常用的动态干涉测试方案以泰曼型同步移相方案为主,该方案容易实现偏振移相,但其分光路结构容易受到系统误差的影响,而且不适用于大口径光学平晶的检测。本文研究了一种基于短相干光源的动态斐索干涉仪,可以同时获取四幅移相干涉图,实现对光学平晶等光学元件的高精度动态测量。根据偏振干涉原理,采用琼斯矢量和琼斯矩阵分析了基于短相干光源的动态斐索干涉测量机理。为了实现斐索型动态干涉,通过调节固体激光器的注入电流实现对其相干性的调整,结合偏振延迟装置,得到一对短相干正交线偏振光。通过调节光源模块中两束线偏振光的光程差来匹配斐索干涉腔长,实现了参考光与测试光的光程匹配。通过偏振移相模块中的1/4波片和微偏振阵列实现同步移相,在CCD上瞬时采集一幅光强图即可得到四幅位相依次相差π/2的移相干涉图,按照移相算法解算相位,恢复待测面形。研究了用于该动态斐索干涉仪的短相干激光器的相干特性,通过电流调制的方法改变二极管泵浦固体激光器的相干性,从而满足该系统对于光源相干长度的要求。采用光谱仪测量了该激光器的光谱和稳定性,研究了注入电流变化引起的激光器中心波长“漂移”现象,并探究了激光器的温度变化对其相干性的影响。实验结果表明,该激光器能够用作该系统的短相干光源。设计了动态斐索干涉仪的总体光路,优化了单元模块参数,包括短相干偏振光源模块、斐索干涉模块以及偏振移相模块,构建了实验装置,对该装置进行了光机电算一体化联调。为验证该装置测试的可靠性,使用该装置与Zygo GPIXP型干涉仪检测了同一块光学平晶,并比对测量结果,二者均方根值相差0.024λ,满足测量精度要求。构建了球面斐索干涉测量系统,实现了不同腔长下的光程匹配,恢复了被测球面镜的面形。研究了该动态干涉系统中不同误差源对测量结果的影响,分析了微偏振阵列的透振方向方位角误差、1/4波片的位相延迟量误差、1/4波片的快轴方位角误差。为了抑制1/4波片的快轴方位角误差在测量结果中引入的一倍频波纹误差,研究了一种干涉图光强归一化算法,对干涉图的背景和调制度进行归一化处理,经过数学仿真验证和对实际干涉图的处理结果可以看出,波纹误差得到了有效抑制,从而验证了该算法对于抑制干涉图光强误差的可行性。