近年来,图案化表面在传感器、光电器件、生物技术等方面有广泛应用。目前,虽然制备图案化微结构的技术有多种,但如何快速、简单、大面积的制备排列规则、有序的微图案仍是面临的一大难题。本文选取聚二甲基硅氧烷(PDMS)为材料,利用其良好的弹性将PDMS薄膜拉伸,进行氧等离子体(OP)曝光,然后匀速回缩,从而制备PDMS皱纹模板;进而,利用PDMS皱纹形貌,根据贴花转移印刷技术的应力失效原理,在界面发生化学反应形成不可逆的化学键,实现在不同基底上进行图案转移,尤其是PDMS柔性基底。发现在Si硬基底上,转移的方向是皱纹模板向基底;在PDMS柔性基底上,转移的方向是基底向皱纹模板,并且在转移后,皱纹模板的振幅增高,从而增加了皱纹模板的轴径比;此外,通过调整PDMS柔性基底紫外臭氧(UVO)/氧等离子体(OP)曝光时间和PDMS皱纹模板的二次曝光时间,来调控PDMS基底和PDMS皱纹模板的相对软硬程度,从而实现PDMS柔性基底上转移微结构形貌的精细控制。对于PDMS柔性基底,在第一次转移的基础上,进行第二次转移,成功实现了基于CD模板与皱纹模板高级复合的微形貌结构,以及不同尺寸和不同振幅形貌的复合;同样地也在拉伸的柔性基底上进行皱纹模板的转移,通过调整拉伸率、二次曝光的时间,制备了转移微图案和皱纹相互复合的复合形貌结构。