基于MEMS加工工艺制作的微Fabry-Perot可调谐滤波器在超光谱成像、密集波分复用的光通信系统中有广泛的应用前景。它与其他可调谐滤波器相比,具有体积微小,易与激光器、探测器或调制器集成、可调谐光谱范围大,光谱分辨率高、采用批量制造可以大幅的降低成本等优点。本文以该型滤波器作为研究对象,从理论研究、结构设计、仿真分析到最后的工艺制备,都进行了探索。主要内容包括:1.本文从F-P滤波器的一般原理出发,依据器件的参数要求,设计了整个F-P腔的光学结构。在整个3-5μm的光谱调谐范围内,峰值透过率都保持在88%-96%,半高宽(FWHM)保持在107-147nm。并讨论了在短腔条件下器件的一些特性。2.从常见的设计中择优选出微F-P腔的支撑结构。利用有限元分析的方法,对设计的微桥结构进行了驱动性能模拟,并分析了器件的平行度和稳定性。模拟结果为,该结构在29V的驱动电压下,可以达到542.9nm的调谐范围。3.采用表面MEMS工艺,完成了对整个器件的制备。所设计的工艺采用聚酰亚胺来作为牺牲层材料,并利用了涂胶反刻的方法来实现了牺牲层平坦化。实验结果表明有效滤光区的平坦度小于20nm。4.对完成的器件进行了测试。测试结果表明器件的微桥结构已经完全悬空,峰值透过率为53.8%,半高宽为254nm。对于存在的一些问题,笔者分析了相应的原因,并提出了进一步改进的方案。