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近年来随着微光学的发展,微光学器件在许多的领域和应用中扮演着越来越重要的角色,微透镜阵列作为重要的微光学元件其中功不可没。其所应用的领域包括光学传感,光通信,光互连,光纤耦合等方面。目前制作微透镜阵列的方法有很多,其中热压印成型技术因其工艺参数易控制,且可大批量重复生产,成为各国学者竞相研究的课题,但其对模板精度要求极高,脱模困难,模具不易清洗,模板制作工艺复杂,成本高。为了降低热压印成型技术对模具的要求,本文提出了非接触式热压印工艺制作微透镜阵列,采用了自主研制的热压印样机与光刻工艺制作的通孔式不