油扩散泵是一种广泛应用于电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等科学研究领域的高真空获得设备，其结构简单，没有机械转动，无振动，无噪音，操作方便且能反复循环使用，便于维护，使用寿命长，因此很受用户的青睐。但国内扩散泵产品与国外同类产品相比较，在抽速、返油率等主要性能指标上还存在较大差距。 为了进一步研究扩散泵的性能，本文深入分析和讨论了扩散泵的抽气机理和返油原因，运用理论与实践相结合的方式，对SFD-28”直腔矮扩散泵进行了成功的结构改进和调试，其性能达到国际同类产品的领先水平。据此总结出的几点结论，对深入研究扩散泵理论具有一定指导作用。 同时，为了简化扩散泵的设计计算，摆脱手工计算的繁琐和误差，本次研究中运用Visual Basic 6.0开发出了扩散泵设计软件。将本软件用于SFD-28”扩散泵的设计和改进，取得了良好效果。从而，提高了产品设计效率，缩短了产品开发周期，对生产企业产品改进和新产品开发具有实际意义。 得出的主要结论如下： (1) 一级喷嘴的尺寸直接影响扩散泵的抽速和返油量。慎选一级喷嘴直径。选择合适的何氏系数确定一级喷嘴尺寸。 (2) 扩散泵泵芯中各级喷嘴的间隙调节直接对泵的性能产生影响。一级喷嘴间隙主要决定泵的抽速，一级喷嘴间隙与后级喷嘴间隙的配合决定了泵的负载能力。最后一级喷嘴间隙对临界背压的影响较大。 (3) 对于扩散泵返油的抑制要从两方面着手。一是减少一级喷嘴附近附面层处的返油，二是减少蒸汽射流上界面的返油。慎选一级喷嘴间隙、加挡油帽和泵口障板，有助于减少返油。 (4) 自行开发的扩散泵设计软件对扩散泵的设计计算可靠，简化了扩散泵的设计计算，具有实用性，可以应用到实际产品开发中。