TiO₂作为一种弱的n型半导体材料，具有良好的化学稳定性和光催化活性。镁合金是轻型结构金属材料，在航天、航空、汽车、电子工业、生物材料上有广阔的应用前景。将TiO₂薄膜沉积在镁合金产品上，使镁合金产品具有光催化效应，能够降解有机物，实现清洁除污、杀菌除臭等功能。本论文采用液相沉积法（LPD）制备镁合金负载纳米TiO₂薄膜。在室温下，配制（NH₄）₂TiF₆和H₃BO₃的混合溶液，添加纳米锐钛矿TiO₂粉末作为结晶诱导剂，在镁合金上沉积出纳米TiO₂薄膜。将溶液中沉积出来的粉末干燥，经不同温度下热处理，用X射线衍射法（XRD）研究其物相变化规律；采用DSC-TG分析锐钛矿转变的形成温度；研究分析了在不同条件下得到的TiO₂薄膜的晶体结构、表面形貌、耐腐蚀性能和光催化性能。采用正交实验方法优化了影响耐腐蚀性能的工艺参数。实验结果表明：沉积态的TiO₂在194.2℃开始转变成锐钛矿型结构。反应温度的提高能促进TiO₂晶核的形成和长大。相对于反应温度，热处理温度对锐钛矿的衍射峰强度影响更强烈，热处理温度在300℃-350℃之间影响最为剧烈。薄膜的X射线衍射表明：提高热处理温度有利于锐钛矿结构的形成，促使晶粒长大；热处理温度从300℃升高到420℃，锐钛矿D₁₀₁从低于100nm升高到112nm；随着热处理时间的延长薄膜的锐钛矿相结构越来越完整，主峰变的尖锐，而且强度也随之增强，延长热处理时间和提高热处理温度一样有利于锐钛矿型TiO₂薄膜的形成，促使锐钛矿型晶粒生长，热处理时间从1h升高到2.5h时，锐钛矿D₁₀₁从99nm升高到109nm；提高热处理升温速率对于锐钛矿型TiO₂薄膜的形成和晶粒生长影响很小。通过研究薄膜的表面形貌可知：表面颗粒垂直于基体生长，呈八面体外观结构，粒径大约为150nm；在锐钛矿的形核和结晶过程中，生长择优取向很明显；适当短的沉积时间可以获得均匀、整齐、致密的薄膜表面，20小时以上继续延长沉积时间出现宏观裂纹；较低的热处理温度下制备的薄膜表面较为平缓，晶体学外观初步形成，局部还有微小的孔洞存在，其尺寸范围在10nm左右，进一步提高热处理温度能够加速锐钛矿的生长，促进颗粒之间生长融合，有利于微孔的坍陷闭合，提高其表面晶体学特征；延长热处理时间，促进表面颗粒间的融合，减小颗粒间隙，颗粒棱角变得明显；快速升温对于晶型转化过程和表面宏观形貌影响甚微，但是能影响到表面的介观结构。断面SEM和EDS