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目前检测大口径光学系统质量不仅难度大,而且制造周期长,制造成本高。因此,用小口径、高精度、高分辨率的干涉仪来复原大口径光学元件的波前相位数据。这是一项新的高精度大孔径面形检测手段。既保留了干涉测量的高精度,又免去了使用与全孔径尺寸相同的标准波面,降低了成本。本文通过对被测元件和波面进行扫描,得到不同的子孔径图像,利用这些子孔径图像中的重合部分,消除扫描过程中造成的它们之间的相对倾斜和平移,从而拼接成一副图像。在理论分析的基础上,建立物理模型和数学模型,模拟实际光路实现子孔径拼接,通过对比实