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本文采用溶胶凝胶法成功配制出了掺锡钛酸钡前驱体溶液,并利用旋涂法在石英基底上镀膜,制备出了四种不同掺杂比例的Ba(Ti1-xSnx)O3(x=0、0.10、0.20、0.30)薄膜。探究了薄膜制备的最优工艺,并对所制得的薄膜样品进行XRD、拉曼光谱、能谱、透射光谱的一系列测试,从微观结构、表面形貌、光学性能方面对其进行分析研究。同时通过溶胶凝胶法合成了制备掺锡钛酸钡陶瓷所需的粉料,按照陶瓷的制备流程制得了四种不同掺杂比例的Ba(Ti1-xSnx)O3(x=0、0.03、0.06、0.09)陶瓷样品,并对其进行铁电性能测试和分析。主要工作和研究成果如下: (1)实验中Ba(Ti1-xSnx)O3薄膜的最优制备工艺为:溶液浓度为0.35mol/L,旋涂工艺参数低速1500r/min时间9s,高速3500r/min时间30s,薄膜热处理温度为800℃。Ba(Ti1-xSnx)O3薄膜样品的XRD衍射峰与钛酸钡标准卡相符,说明均得到了结晶较好的纯相钙钛矿结构。当Sn掺杂比例x分别为0、0.10、0.20时,Ba(Ti1-xSnx)O3薄膜的光学带隙分别为 3.497eV、3.642eV、3.759eV ,且Ba(Ti1-xSnx)O3薄膜透过率明显低于未掺杂BaTiO3薄膜,薄膜样品的折射率色散关系均符合从Sellmeier关系。以上结果表明掺入Sn可以增加钛酸钡薄膜对可见光的吸收,且通过控制Sn掺入量可以有效调控钛酸钡薄膜的光学带隙。 (2) Ba(Ti1-xSnx)O3陶瓷样品的XRD衍射峰与钛酸钡标准卡相符,均得到了结晶较好的纯相钙钛矿结构。陶瓷样品的铁电性能测试结果表明:Sn掺杂量x分别为0、0.03、0.06、0.09时,1Hz下的各陶瓷样品剩余极化强度分别为1.957μC/cm2、0.589μC/cm2、2.266μC/cm2、0.969μC/cm2;矫顽场强分别为97.94V/cm、39.58V/cm、22.52V/cm和26.87V/cm。从数据中可以看出x=0.06的陶瓷样品性能较好,1Hz下剩余极化强度最大,矫顽场强最小。锡的掺入可以明显降低钛酸钡陶瓷的矫顽场强,四种掺杂比例陶瓷样品的剩余极化强度和矫顽场强随着测试频率的提高出现明显的下降。