PMS-PNN-PT压电厚膜材料性能的研究

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压电厚膜材料是20世纪90年代发展起来的一种新型功能材料,它兼顾了块体材料和薄膜材料的优点,具有良好的压电、介电和热释电性能。本文综述了国内外压电材料的研究进展,对压电陶瓷的压电效应、产生机理及其主要性能参数做了简要的介绍,并对压电厚膜的制备技术及其应用做了较为详细的总结。实验采用丝网印刷的方法在Al2O3基板上制备出了压电性能较好的PMS-PNN-PT厚膜,厚膜的厚度在50~80μm之间,主要性能参数分别为ρ=6.0g/cm3、d33=63.5pC/N、Kt=0.52、εr=1
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