本文从研究分子泵的负载特点出发，分析了分子泵的运行规律，提出了变频驱动装置的设计要求，阐述了进行变频驱动装置设计的理论依据、设计方法和设计方案。在此基础上，针对目标驱动模型，进行变频驱动装置的硬件和软件设计，并依据仿真手段对设计结果进行了分析和评价。 仿真结果表明，变频驱动装置的设计完全可以满足分子泵运行的要求，而且具有性能可靠、成本低廉的特点。同时，仿真结果也说明了设计过程中应用的理论适用、方案合理、方法可行。 在文的研究和设计中充分考虑了异步电动机变频调速技术数字化、集成化和模块化的发展方向，将成熟、实用和先进的技术应用到分子泵驱动装置的设计上。智能功率模块(IPM)和系统级单片机的选用，不但可以提高装置的性能和可靠性，而且使设计更简便，更容易进行扩展和移植。