微流控芯片分析是微全分析系统或芯片实验室领域中的重要组成部分,它以微机电技术为基础,以微通道网络为结构特征,辅助以微泵、微阀等微流控功能器件,通过对微流体的操纵和控制,目标是在芯片上实现分析实验室的所有操作,包括取样、试样引入、前处理、反应、分离和检测等,且可多次使用,因此具有高自动化水平和更广泛的适用性。微泵是微流体系统的核心部件,是实现微流量供给的动力组件,能精确的传输微小流量,而受到特别重视,因此,微型泵具有广阔的应用和发展前景。本课题以用于微流控芯片的压电薄膜微泵为研究对象,完成了对圆形压电薄膜片和无阀微泵的制备以及优化设计,并以芯片型实验室为应用目标,将无阀微泵作为自动换样与清洗装置与微流控芯片实现结构及工艺的一体化集成。具体展开的工作主要有以下几个方面:1)圆形压电薄膜片的制备以及结构参数优化。本文研究了水热合成法制备PZT压电薄膜的工艺过程,并利用水热合成法制备了圆形压电薄膜片。同时,本文还利用有限元软件ANSYS对圆形压电薄膜进行了静态和模态分析,并在此基础上对其结构参数与驱动性能之间的关系进行了仿真分析,为压电薄膜片特征尺寸的选择提供了理论依据。2)无阀压电微泵的理论分析以及结构参数优化。对无阀微泵的工作原理和流动特性进行了理论分析,为微泵结构尺寸的选择提供了理论依据。同时,利用ansys 10版本的MFX-ANSYS/CFX技术,完整地考虑了结构和流场之间的相互影响,实现了对无阀微泵的多物理场分析,研究了无阀微泵的流体动态特性,并在此基础上对微泵的结构参数与流量之间的关系进行了仿真分析,通过实验验证,证明了仿真的正确性。3)集成微泵式微流控芯片的加工与性能测试。介绍了集成微泵式微流控芯片的工作原理、结构设计、制造工艺以及性能测试。并成功应用于维生素B2样品的自动连续换样和毛细管电泳分离。