高精度传感器的测量和标定需要一个良好隔振的平台,平台的隔振水平决定了传感器的精度。深入研究超静平台的振动检测技术,对于隔振效果的提升具有重要意义。经过一系列隔振手段后,超静平台仍然存在振动,并且具有低频、微幅和六自由度的特性。针对这些问题,本课题使用低频检波器阵列作为传感器,研制了一套用于实时检测超静平台六自由度微弱振动的系统。论文的主要内容如下:1)检波器的低频补偿方法研究。超静平台的振动频带与检波器的自然频率相近,检波器的灵敏度随着频率的下降而迅速衰减,因此需要对检波器进行低频补偿,对比常用的补偿方法后选用数字补偿方式,对课题中使用的检波器建立传递模型,设计补偿方案并仿真验证。2)高精度微弱振动检测系统的噪声抑制方法研究与实现。为了实现微弱振动信号的高精度测量,必须分析和计算系统噪声的影响因素,在此基础上研究噪声抑制方法,完成低噪声电路的设计,通过实验验证系统各个通道的功能与短路噪声。3)平台振动的六自由度解算方法研究与实现。通过研究基于速度传感器阵列的解算六自由度方法,设计检波器阵列的安装位置与敏感方向,建立速度与六自由度之间的关系方程组,使用最小二乘法进行求解,在仿真工具中建立平台振动模型,对解算方案进行验证。最后,在超静平台上完成微弱振动检测系统的测试和验证,对系统的功能和指标进行了评估,完成了设计目标。