微细电火花加工技术在现代工业的某些领域中具有无可替代的优势。在目前的慢走丝电火花线切割机床中,大部分都是传统的四轴四联动,这种形式的机床在加工应用范围上受到很大的限制。为此,本课题在利用北京市自然科学基金项目所开发的五轴五联动电火花复合加工机的框架上针对这些问题展开了研究。当前的数控系统技术已经发展到第六代基于PC的数控系统,本课题在对数控技术的历史及发展趋势深入把握的基础上,以PC+NC的结构为框架进行了数控系统的具体开发。本文将刀具补偿功能加入到译码模块部分,在进行译码后,根据前后两段G代码对前一段G代码进行刀具补偿,并进行了加工试验,验证了刀具补偿程序的正确性,完善了刀具补偿功能,实现了精密加工。插补是数控机床最基本也是最主要的功能,本文对数控系统的直线插补功能进行了开发,然后在直线插补的基础上开发了圆弧插补功能,并进行了加工验证试验,证明了插补程序的正确性。在完善了数控系统后,针对目前加工工艺的研究热点,进行了微细阵列电极的加工实验,探讨了加工过程中的各种影响因素,最终加工出了长1mm、横截面为40μmx40μm的5×5阵列电极。另外针对另一微细加工的热点,本文利用RC电源进行了镜面的加工实验,并成功加工出了表面粗糙度为R_a49nm的镜面。