太赫兹(THZ)波指的是0.1-10 THz间的电磁波,占据着电磁波谱中的一个特殊位置,不仅具有宏观电子学和微观光子学相关的一些特点,又同时表现出了如光子能量低、光谱多功能、选择高透射性等独特性质,在近年来飞速发展。超材料被称为“人工原子”、“奇异介质”,同样在近年来发展迅速,使得基于超材料的太赫兹功能器件层出不穷。本文基于经典超材料结构双开口谐振环和金属条偶极子组合设计了一款超材料结构,通过CST Microwave Studio仿真确定图形结构及结构参数,设计实现了两种太赫兹功能器件:太赫兹被动可调带阻滤波器和太赫兹主动式调制器。利用微细加工工艺制备了上述两种功能器件,并通过太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)、光泵浦太赫兹探测系统(OPTP)及动态调制系统表征了上述两种器件功能。太赫兹被动可调带阻滤波器通过改变双开口谐振环大小及串联金属线与谐振环的间距,实现带宽为0.3 THz的太赫兹带阻滤波器。使用LC等效电路等效超材料结构单元,解释了滤波器滤波频段随结构参数的变化。经THz-TDS和动态调制系统测试表征,太赫兹主动式调制器在外加激光与电压激励时,对太赫兹波有明显调制作用,调制机理采用能带理论解释。在激光调制信号下,对器件加载电压可实现光调制深度的改变。使用OPTP系统确定了器件加载电压对于材料的光生载流子浓度存在明显的操控作用。在电压调制信号下,器件在一定电压加载方式下会对太赫兹波产生调制,电压调制速度达到30 KHz远高于一般硅基太赫兹调制器。