【摘 要】
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利用MEMS技术制造的电容式微硅加速度计由于其优越的性能,在军事、工业方面都有重要的应用.作为提高加速度计系统性能的一个重要方面,集成化检测电路的设计成为近年来研究的
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利用MEMS技术制造的电容式微硅加速度计由于其优越的性能,在军事、工业方面都有重要的应用.作为提高加速度计系统性能的一个重要方面,集成化检测电路的设计成为近年来研究的热点问题之一.引言对MEMS技术作了概述,给出了差分电容加速度计的结构及其等效电路以及加速度与电容变化关系的公式,介绍了研究的背景.第二章对电路系统和前置放大器噪声性能作了分析,提出采用过采样技术并将时钟占空比设为1/4以降低系统噪声,重点对前置放大器作了低噪声设计.第三章中,输出缓冲放大器被设计为恒定跨导、rail-to-rail的结构,同时还具有输出共模范围大(0-5V)、输出电阻小、电路结构紧凑、非线性失真小等优点.仿真及流片测试证明了以上特点.第四章中,重点设计了一个带隙基准电压源,对其采用温度一级补偿来改善温度特性,采用深度负反馈结构来提高电源电压抑制比.第五章对该论文的研究成果进行了总结.给出总电路的版图.
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