【摘 要】
:
随着集成电路(IC)工艺的高速发展,要求集成度和速度不断提高,其途径为器件微小型化。随着尺寸缩小,晶体管的速度越来越快,但互连线的寄生电容和分布电阻所导致的传输时延却会
论文部分内容阅读
随着集成电路(IC)工艺的高速发展,要求集成度和速度不断提高,其途径为器件微小型化。随着尺寸缩小,晶体管的速度越来越快,但互连线的寄生电容和分布电阻所导致的传输时延却会增大,影响集成电路速度的提高。到了0.13微米线宽技术阶段后,与低介电系数介质相结合的铜互连技术逐步代替铝互连。然而铜有易氧化、易扩散的缺点,实际生产中发现铜互连工艺中的等待时间与很多缺陷的发生有着直接的关系。当今如何提升自身生产能力以满足客户日益苛刻的需求,将是IC芯片代厂必须解决的问题。从生产管理角度而开发的派工软件随着诞生。本文开发了该派工软件系统中对等待时间的控制手段,从而避免了因等待时间而产生的缺陷对IC生产的影响。为此,本文以铜互连工艺派工系统控制等待时间和降低缺陷的研究为题展开研究,探讨了铜互连的主要和等待时间相关的缺陷。通过各种实验,以及电性和良率测试分析,确定最佳等待时间,并且在派工系统中对等待时间加以控制,从而减少了缺陷的发生。目前论文开发的软件系统已经应用在上海铜制程的12英寸IC生产企业中。
其他文献
健康中国战略是学校体育治理的基本遵循与动力,学校体育是健康中国战略的必要路径与举措。在健康中国战略观照下,我国学校体育治理面临诸多困境,体现在:1)政策缺憾与执行偏差
心脑血管疾病,例如心肌梗死(AMI)、脑梗死(ACI),糖尿病并发心血管病变等,已经成为严重危害人类健康的问题,其发病率和致死率都很高。本文就利用超敏C反应蛋白(hs-CRP)来早期发现和辅助
随着科技的发展,超高速电子器件及光电子器件发展很快,特别是一些新的半导体材料制造技术的应用,使得半导体器件的速度已达到几个皮秒甚至亚皮秒。这些高速器件的带宽,已经远
基于对住宅户型多样性和灵活性的需求分析,以及结合国内外相关住宅项目的研究,为了提高和促进住宅户型多样性和灵活性的设计,结合欧洲参观考察的实际案例,浅谈集合住宅户型设
以安新地区高速公路边坡坡面农业土壤为研究对象,通过分层取样的方法,对不同深度土壤的pH、有机质、碱解氮、有效磷和速效钾含量进行对比分析,探讨高速公路对周边不同深度土
<正>翼状胬肉是眼科非常常见的疾病之一,翼状胬肉多见于农村、基层长期在户外工作生活的较低收入人群[1]。由于翼状胬肉术后较易复发,为了降低复发率,产生了非常众多的手术方
《林兰香》是产生于清初的一部以家庭生活为题材的小说。它以一个贵族大家庭为中心,叙述了耿朗与六位妻妾的悲欢离合,比较真实地展示了古代知识女性的精神痛苦和人生悲剧。本
文章从平面、剖面、环境、结构、材料五个方面,对坐落在上海嘉定新城远香湖公园中的一座公共厕所进行了分析,并对建筑设计中多方面概念相互牵扯、相互推进的设计方式进行了讨论
电子政务的信息资源集成管理涉及到很多方法和技术,通过对元数据和目录服务特点的分析,并结合元数据和目录服务的优点,构建一个政府信息资源集成管理框架。
以中天合创能源有限责任公司高盐矿井水深度处理工程的详细设计和投资概算为基础;对比了两种不同工艺路线的特点;简述了处理设备及设施的选型要点和建(构)筑物特征;介绍了项