精密光电器件超声复合研磨技术与装备研究

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随着光通信技术的发展,光纤连接器得到了广泛的应用。但由于回波损耗偏低、插入损耗偏高和表面变质层等原因,光纤连接器端面的超精密加工仍有待进一步解决。近年来,难加工材料的精密加工中,超声波加工技术、电加工技术、和各种复合加工新技术得到了巨大的发展,它们普通加工无法比拟的工艺效果。但是,在研磨这一领域里,目前大多为游离磨粒的研磨,很少涉及固着磨粒的超声复合研磨。基于超声复合研磨的一系列优越性,本文将超声振动引入光纤连接器端面研磨的界面,探讨了光纤连接器端面超声复合研磨的方法。同时,对超声复合研磨工艺所需要的工艺装备进行了设计。为相关试验提供了硬件平台。 本文先介绍了光纤连接器的发展现状以及加工中存在的一些关键问题。然后从理论上分析陶瓷脆性材料精密研磨的加工机理,在此基础上对超声复合研磨作了运动分析以及材料去除机理分析;对于普遍关心的问题,如加工效率作了深入的探讨。在随后的章节中设计了超声复合研磨的关键设备,包括超声波发生器,换能器、变幅杆。在本文韵最后进行了大量的试验,探明了声学参数和机械力学参数对加工效率和加工质量的影响规律,找到了优化的工艺参数,从而找到了光纤连接器端面的超声复合精密研磨的有效办法。分析了超声复合研磨能提高加工精度、提高表面质量和改善表面变质层的原因。因此,相关试验结论和规律对于进行光纤连接器端面的超声复合研磨的研究有一定的价值。
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