【摘 要】
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在微机电系统(MEMS)中,当构件的尺寸达到微米、亚微米量级,将出现尺寸效应,此时构件的力学行为用宏观的连续介质理论不能够准确解释。本文运用修正偶应力理论结合经典的欧拉-伯努利梁理论和层合梁理论,分析了均质、非均质PZT双晶片,均质、非均质0-1极化PLZT双晶片,0-3极化PLZT单晶片、非均质双晶片的力学行为;推导了绑定0-1极化PLZT驱动器的欧拉-伯努利梁的控制方程;分析了上述这些微米级梁
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在微机电系统(MEMS)中,当构件的尺寸达到微米、亚微米量级,将出现尺寸效应,此时构件的力学行为用宏观的连续介质理论不能够准确解释。本文运用修正偶应力理论结合经典的欧拉-伯努利梁理论和层合梁理论,分析了均质、非均质PZT双晶片,均质、非均质0-1极化PLZT双晶片,0-3极化PLZT单晶片、非均质双晶片的力学行为;推导了绑定0-1极化PLZT驱动器的欧拉-伯努利梁的控制方程;分析了上述这些微米级梁结构的尺寸效应。论文的主要工作和成果如下:(1)结合修正偶应力理论和经典的欧拉-伯努利梁理论,推导了微米
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