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径向剪切干涉法,因为其共光路,无需参考镜等优点,被广泛的应用于非球面的检测中。为了探索光学干涉仪器系统的误差分析方法,进一步提高测量精度,本文主要对径向剪切干涉系统检测非球面的主要部分进行误差分析和处理,提高了非球面的检测精度。本文研究的主要内容有以下几个部分:论文叙述了径向剪切干涉系统非球面检测的原理及过程,介绍了非球面检测的多种方法。对径向剪切干涉非球面检测系统进行误差分析,重点对光学系统和图像处理算法两个部分进行了误差分析。在光学系统误差中,基于光学设计软件ZEMAX,对径向剪切干涉系统的光路