机械零件回转表面正截面轮廓的圆度误差对机器和仪器的功能有直接的影响,当前的圆度误差测量方法主要有千分尺、圆度仪、坐标测量机等,但这些传统方法都是离线测量,或仪器昂贵,对环境要求高。为了解决这个问题,论文对基于电子散斑干涉的圆度误差方法进行研究。首先,分析了国内外圆度误差测量方法和电子散斑干涉技术的发展、应用现状,认为电子散斑干涉技术应用于圆度误差测量中是可行的。其次,研究了电子散斑干涉技术的检测原理。介绍散斑的大小、电子散斑干涉现象及散斑的统计特性。从位移测量、相移测量、离面位移测量和面内位移测量分别研究电子散斑干涉测量原理,以及电子散斑典型光路设计,为系统测量提供了充足的理论基础。再次,较深入的研究了电子散斑干涉图像处理。分析图像的滤波、二值化处理和条纹骨架的提取。通过CCD技术,采集系统产生的干涉条纹。针对散斑图像中含有大量干扰的特点,通过预处理、二值化和轮廓提取等一系列图像处理,得到受干扰比较小的散斑干涉条纹,为分析散斑干涉条纹打下良好基础。最后,构建了圆度误差测量的系统框架,分析了系统主要的光路,在现有实验条件下,对工件的圆度误差测量进行实验研究,实验结果验证了系统的可行性,并分析了提高系统稳定性的方法。同时对圆度误差测量结果用最小二乘法进行评定分析。