【摘 要】
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该文用溶胶-凝胶地制备了新型可溶性聚酰亚胺/二氧化硅纳米复合材料,并对其结构和性能进行了深入细致的研究.该论文的主要贡献是:制备了可溶性PI/SiO纳米复合材料,并对制备过
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该文用溶胶-凝胶地制备了新型可溶性聚酰亚胺/二氧化硅纳米复合材料,并对其结构和性能进行了深入细致的研究.该论文的主要贡献是:制备了可溶性PI/SiO<,2>纳米复合材料,并对制备过程的影响因素作了一定的分析研究,得到的纳米复合材料热稳定性能、热膨胀性能和力学性能等均化纯PI有了明显的提高,并且在一定的SiO<,2>含量下,体系仍保持良好的溶解性能,可以满足微电子领域应用所需要的可加工性能.首次采用具有光化学反应结构的可溶性PI与TEOS直接复合的方法成功地制备了具有较小粒径SiO<,2>粒子(<300nm)的PI/SiO<,2>纳米复合材料,并进一步研究了其光刻性能.结果表明,在较低的SiO<,2>含量下,PI/SiO<,2>纳米复合材料仍具有良好的光刻性能.
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