【摘 要】
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是一种有效的表面分析技术,具有样品消耗量少、可微区原位分析、检测速度快和质量范围无限制等诸多优势。研制用于高精度同位素分析的TOF-SIM
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是一种有效的表面分析技术,具有样品消耗量少、可微区原位分析、检测速度快和质量范围无限制等诸多优势。研制用于高精度同位素分析的TOF-SIMS仪器,能够满足当前地球化学和宇宙化学的新需求,进一步推动学科发展。本文主要针对仪器控制软件和谱峰检测方法两方面内容进行深入研究,完成的研究内容如下:提出了一种基于Lab VIEW面向对象的大型仪器控制软件开发方法,基于该方法开发了一套TOF-SIMS仪器控制软件,软件具有良好的可重用性和可扩展性,并且硬件更改对软件的影响较小;通过引入粒子移动的方式,提出了一种改进的连续小波变换谱峰位置检测方法,可提高重叠峰分辨能力和微弱谱峰检测能力;提出了一种基于连续小波变换和曲线拟合的谱峰面积检测方法,可提高重叠峰的分离能力和谱峰参数检测精度。所提出的谱峰检测方法能有效分离干扰峰,提高仪器的数据精度。
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