扫描探针显微镜是近几年迅猛发展的一项表面探测技术,它具有分辨率高、制样简单、可在不同的环境下(真空、大气、液体)进行观察等优点.因此,这项技术被物理学、生物学、纳米机械学、纳米摩擦学等领域中的科研工作者广泛使用.不仅如此,利用扫描探针显微镜还可以进行纳米加工,可以将人们的加工精细度提高到纳米量级.这种纳米级的加工手段不仅对于纳米级的研究有重要意义,而且具有重要的应用前景.利用扫描探针显微镜进行纳米加工技术是该论文的研究内容.为此文中首先详细介绍了扫描探针显微镜的两个重要类型,扫描隧道显微镜和扫描原子力显微镜的工作原理.由于利用扫描探针显微镜进行纳米加工是一项近十年内才发展起来的新技术,关于这项技术的实验数据还很分散,相应的理论工作也还没有与实验的发展相对应.因此文中开始主要是对过去的实验工作和一些纳米刻蚀的理论加以回顾和总结,其中重点介绍了利用原子力显微镜的针尖诱导和电流诱导对硅和金属表面进行局域氧化的纳米加工技术.