基于逆向哈特曼法的离轴抛物面镜式平行光管装调技术研究

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离轴抛物面镜式平行光管,用于为光学系统的检测提供平行光,具有结构简单、无色差、中心无遮挡等优点。尤其随着对光学系统口径要求的提高和对离轴光学系统研究的深入,对离轴抛物面镜式平行光管的研究也越来越多。离轴抛物面镜式平行光管的装调精度将直接影响出射平行光的质量,目前主要的装调方法为自准直干涉法。自准直干涉法精度很高,但是需要平面反射镜作为辅助,而大口径的平面反射镜面形加工困难,成本高而且容易因重力产生变形,测试过程受温度、振动或气流等因素影响严重。本文提出了基于逆向哈特曼法的离轴抛物面镜式平行光管装调方法,适用于在平行光管粗装调后,固定离轴抛物面镜的位置,利用逆向哈特曼法测量得到Zernike多项式系数,并根据仿真得到的Zernike系数和平行光管失调量的关系,计算点光源的失调量和失调方向,从而对平行光管的点光源位置进行精确装调。本文首先对逆向哈特曼装调原理和实现方法进行了详细的介绍,建立离轴抛物面镜式平行光管的模型,计算了Zernike系数与失调量的关系,并根据波像差的要求对点光源的装调精度提出要求。分析了图像发生器和相机的位置误差对装调的影响,提出误差允许范围并给出减小误差的方法。设计了装调系统中元件的固定和调整结构,计算了最佳针孔大小和合适的投影图案。设计并搭建了逆向哈特曼法装调系统,对关键元器件进行选型。对现有的离轴抛物面镜式平行光管进行装调,并利用干涉仪检验装调结果。
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