本文针对在线切割机床上的半导工程陶瓷材料（如Al₂O₃-TiC复合陶瓷）回转表面的放电磨削加工,研究通过跟踪电极装置改善加工表面的均匀性,提高加工过程的稳定性。基于热传导理论和有限单元法,建立了高斯热源形式的单脉冲电火花放电加工Al₂O₃-TiC复合陶瓷材料回转表面的温度场模型,通过分析放电过程中材料表层的温度场,得出放电能量与放电蚀除量之间的关系,分析了放电能量的变化对加工表面质量与加工效率的影响。从综合提高Al₂O₃-TiC陶瓷材料回转表面线切割放电磨削加工的表面质量均匀性和加工稳定性的角度出发,论述了跟踪电极装置的意义,制定了跟踪电极装置的结构方案。对跟踪电极装置的设计方案进行了基于CATIA、ADAMS与ANSYS的三维设计与运动学、动力学联合仿真分析。根据分析结果对设计方案进行了相应的修改,保证跟踪电极装置具备与电极丝保持一定距离,且在始终与工件保持紧密接触、实现连续导通的前提下,具有自动适应变径工件的能力。试制了跟踪电极装置,并利用跟踪电极装置对Al₂O₃-TiC陶瓷回转表面的放电磨削加工进行了试验研究,试验表明跟踪电极装置能够使工件表面质量更加均匀一致,整个加工过程更加稳定。