目前国内平板太阳能集热器选择性吸收膜系主要依靠进口,因此制备出一种工艺简单、成本低廉、性能优良稳定的选择性吸收表面有极其重要的意义。本文采用直流反应磁控溅射的制备方法,选择铜(Cu)为基材,不锈钢(SS)为主要靶材,氧气(O2)为反应气体,制备SS-O太阳光谱选择性吸收表面,应用于平板集热器。主要的研究内容及成果如下：1、建立选择性吸收表面模型,设计结构,确定表面所采用的类型。优化分析,确定表面层数、填充因子的种类以及初定溅射参数范围。2、采用控制单一变量的方法,在初定的溅射参数范围内进行大量对比实验,得出溅射参数与样本光学性能之间的关系。将最先进的德国TINOX样本作为参照,利用分光光度计、盐雾机、烘箱等实验设备,对样本的光学性能、抗腐蚀性能、热稳定性能及湿热稳定性能等指标进行测定。选择几组典型样本对比分析,得出综合性能优良稳定的样本,并得出制备该种选择性吸收表面的工艺参数,以及利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对该样本的两吸收层和断面的微观结构进行分析。3、将四层结构样本的每层分别制成单层薄膜样本,利用单层薄膜样本的反射率、透射率以及厚度等初始参数,采用Hadley方程分光光度计方法,对单层薄膜的光学常数n(λ)、k(λ)进行初步计算,总结光学常数与填充因子之间的关系,为今后多膜层叠加表面的模拟计算及优化设计做准备。