依据电化学反应中阳极溶解的原理去除材料并将工件加工成型，这种制造技术称为电解加工技术。依据其加工原理，电解加工中材料的去除是以离子的形式进行的。电解加工具有生产率高、表面质量好、阴极无损耗、加工过程中不产生应力和变形并且能够加工复杂3D结构等独特优点，从而使其在航空航天、精密仪器等微细制造领域的重要性日益突出。掌握微细电解加工的加工原理，研制微细电解加工系统，探究微细电解加工工艺，并且通过电解加工方法对微米级微细结构进行实际研究，对于微细电解加工的发展和应用具有重要意义。多年来国内外研究人员已经在电解加工领域进行深入的实际应用研究并已取得丰硕的研究成果，依据电解加工的最新发展状况以及研究成果，本文研究内容叙述如下：1、微细电解加工的初始间隙较小，通常为几微米到十几微米，为了在两电极间实现快速精准定位的目的，设计开了一种基于LabVIEW技术的快速对刀检测系统。该系统不仅能高效完成微细电解加工中的对刀，而且能实时监测加工电流的变化情况。2、通过120次对比试验评估了微细电解加工中湿对刀相对于干对刀在工件材料蚀除量及重复定位精度等指标上的可靠性，试验结果表明：采用设计的对刀检测系统，120次重复湿对刀造成的阳极和阴极蚀除率分别仅为0.21%和0.02%,且其定位精度和重复精度完全能够满足微细电解加工过程的对刀要求，同时大大提高了微细电解的加工效率。3、依据电解加工基础理论如法拉第定律、电流效率、外电场作用下的电极极化曲线以及金属/溶液界面双电层理论等，利用数字化微细电解加工系统进行微细孔加工。4、通过多组基础工艺对比试验，对电解加工过程中的各种工艺参数如：电解液成分、加工电压、冲液方式、加工进给速度、电源性质等进行分析，研究它们对微米级微细孔加工的溶解定域性、成形精度、表面质量、加工稳定性等关键性指标的影响规律。