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钛酸钡是非常古老铁电材料之一,人们从上个世纪中后期便开始对这种材料进行了研究。它不仅具有较高的介电常数,还具有良好的铁电,压电,热释电以及良好的光电性能,常应用于非易失性存储器、动态随机存储器,热释电探测器、光电开关和光调制器等等,因此,一直是人们研究的热点铁电材料之一。然而,目前钛酸钡薄膜材料的制备仍然还有很多难关没有攻克,使用一般工艺制备的钛酸钡薄膜,通常介电常数较小,损耗较大,且电滞回线不饱和,因此这方面的研究一直受到人们的关注。本文便是针对上述情况,对钛酸钡薄膜的制备和性能进行了改良。