高频离子氮化的工艺研究

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本文利用交流高频电源对材料分别为铝、钛、4Cr14Ni14W2Mo渗氮钢和不锈钢的样品进行了氮化处理。显微硬度分析和扫描电镜分析结果表明,除了铝样品以外,其他材料的样品经过处理后表面显微硬度都不同程度地提高了,最高者可达到未处理前的二倍多,而且耐蚀性也提高了。渗氮气氛中杂质气体氧气的存在对氮化起阻碍作用,尤其是对铝样品其负面影响更大。 本文还利用主要参数为:输出电压0—60KV连续可调;脉冲宽度不大于300ns,前沿上升时间不大于50ns;重复频率0—200Hz连续可调的直流脉冲高压电源对在一个大气压下实现辉光放电的可能性进行了研究。实验表明,在现有的设备条件下,尚不能在一个大气压下产生均匀、稳定的辉光放电。但是,通过选用适当的工艺,在纯氮气气氛中利用该电源仍可在压力为0.03MPa的气压下产生均匀、稳定的辉光放电。
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