伴随着气体放电获得等离子体技术的不断进步,低温等离子体越来越多的出现在我们的身边。在众多工业领域展现出不可小觑的应用前景的同时,人们也对低温等离子体的特性提出了更高的要求,这极大的提高了对其进行研究的价值,也同时推进了对于低温等离子体研究的快速发展。在实验上对其进行研究的先决条件是,发展和掌握操作容易、成本经济、准确性可接受的等离子体诊断方法,这样才能在研究中有针对性的了解等离子体对于外界条件的响应,以求可控的获得满足需求的低温等离子体。鉴于此,本文将利用发射光谱法,对同轴空心网格阴极辉光放电产生的低温等离子体进行研究,同时将对如何使用连续谱的绝对强度法测量电子密度进行探讨。首先,从原子的谱线这一等离子体发射光谱的主要构成入手,对等离子体内主要的辐射与激发过程进行讨论;对课题中使用的同轴空心网格阴极放电这一系统的性能和优势进行介绍,并通过朗缪尔探针的测量结果验证了对该装置产生的低温等离子体使用发射光谱诊断的可行性;测量了不同放电条件下氦气与氩气放电产生的等离子体的光谱,并检验分析了其光谱构成。然后,分别列举了几种等离子体的主要温度特征量,简要介绍了其各自的物理含义与检测方式,分析了等离子体内部热力学平衡的情况;重点对比了玻尔兹曼曲线和费米狄拉克模型这两种求解等离子体激发温度的方法,讨论了各自的实现过程、理论基础,解释了在本课题中选用前者手段的原因;测量压强75Pa,放电功率1200~2000W时氦气放电等离子体的激发温度,以及压强25Pa,同样功率范围放电时氩气放电等离子体的激发温度;在放电功率为2000W时,测量压强范围分别为15~75Pa、15~55Pa的氦气、氩气放电等离子体的激发温度,并建立模型定性分析其变化原因。最后,论证了通过与参考光源进行比较来获得等离子体光谱辐射率(发射系数)绝对数值的基础;由辐射的输运方程逐步导出通过连续谱获得等离子体的电子密度的理论依据,并进而测量了氩气放电低温等离子体的电子密度;将测量结果与朗缪尔探针的测量、COMSOL Multiphysics的模拟结果比较,分析连续谱的绝对测量法计算等离子体的电子密度的优势、适用性和局限。