低温烧结钼酸盐基微波介质陶瓷的制备与性能研究

来源 :合肥工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yiyiweiwei
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低温共烧陶瓷技术(LTCC)在器件和系统的小型化和多功能化中的重要应用,使微波介质陶瓷成为电介质领域研究的热点方向。经过不断的研究探索,本文成功制备了几种不同的新型低温可烧结钼酸盐微波介质陶瓷,并通过XRD、SEM、EDS和矢量网络分析仪等表征手段对材料的相结构、微观形貌、微波介电性能等方面进行了系统的分析。论文的主要内容如下:首先,通过传统固相合成法,在较低温度下合成了一种新的钼基微波介质陶瓷Y2Mo4O15。XRD和精修结果表明烧结后的样品都是单相陶瓷,Y2Mo4O15属于单斜相,P21/c空间群。SEM结果表明Y2Mo4O15的晶粒生长均匀且晶粒之间堆积紧密,即Y2Mo4O15能够在低温下烧结致密。Y2Mo4O15的介电常数随温度的变化主要与密度有关,而Qxf受密度和堆积密度的双重影响。由于在整个烧结范围内材料的结构没有发生变化,因此频率温度系数比较稳定。Y2Mo4O15在700 oC的烧结温度下获得最佳的微波介电性能:εr8.2,Qxf78,148 GHz,τf-49.2 ppm/oC,呈现出良好的应用前景。接着,新体系的钼酸盐微波介质陶瓷Ln2Zr3(MoO49(Ln=La,Sm,Nd)也通过固相法制备成功。XRD结果表明它们拥有相同的相结构,都属于六方相,R3<sub>c空间群。La2Zr3(MoO49,Sm2Zr3(MoO49,Nd2Zr3(MoO49分别在775oC、875o C、900oC的温度下获得最佳的微波介电性能:εr10.8,Qxf50,628 GHz,τf-38.8 ppm/oC;εr11.0,Qxf74,012 GHz,τf-45.3 ppm/oC;εr10.8,Qxf58,942 GHz,τf-40.9 ppm/oC。由于结构相似,它们的εr和τf相差不大。而Qxf有较大差异的主要原因与本征因素有关,堆积密度越大,Qxf值越大。最后,本文还制备了一种新型的固溶体微波介电陶瓷陶瓷Li3Ba2La3(1-x)Y3x(MoO48(0.0≤x≤1.0),研究了Ln位元素相对含量的变化对陶瓷的结构和微波介电性能造成的影响。XRD结果表明,随x的增大,衍射峰逐渐向高角度移动,这是因为Y3+的半径比La3+小,陶瓷的晶胞体积逐渐减小。陶瓷的堆积密度随Y3+含量的增加而不断增大,对应Qxf值不断增大。另外,Ln位的键价随x的增大而不断减小,造成陶瓷的τf不断向正方向移动。最后,Li3Ba2La3(1-x)Y3x(MoO48(0.0≤x≤1.0)陶瓷在x=0.4处获得最佳的微波介电性能:εr14.4,Qxf14,994 GHz,τf+6.9 ppm/°C。并且,Li3Ba2La1.8Y1.2(MoO48与Ag有良好的化学兼容性,这使其能够实际应用于LTCC。
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