【摘 要】
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随着人们对紫外光学研究的日益加深,紫外探测技术正朝着多波段、全方位的方向发展。在太阳光谱的紫外盲区(日盲区)进行信号探测,可以屏蔽太阳光的背景干扰,使信息处理量有效
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随着人们对紫外光学研究的日益加深,紫外探测技术正朝着多波段、全方位的方向发展。在太阳光谱的紫外盲区(日盲区)进行信号探测,可以屏蔽太阳光的背景干扰,使信息处理量有效减少,同时具有结构简单、灵敏度高、虚警率低等优点,在军事国防等领域引起了广泛的关注。本文研制了一种宽波段低噪声的光学滤波器件,满足了日盲探测系统对于日盲区(200~270nm)高透射,近紫外至近红外区(300~1200nm)深截止的技术要求。基于薄膜光学理论,结合紫外薄膜材料光学特性的分析,设计了一种介质与金属组合的特殊膜系,并对膜系进行优化与可行性分析。在薄膜沉积的过程中,研究了电子束加热蒸发金属Al膜的沉积速率,对不同沉积速率进行分析,确定了降低膜厚控制误差的有效方案。通过对样件的实际光谱进行逆向反演分析,找出导致光谱变坏的主要因素,进一步优化工艺参数。为了降低薄膜的时效变化,保证薄膜的稳定性,提出一种分步沉积的方法完成滤光膜的制备。本文研制的薄膜元件在200~270nm的平均透射率达到51.76%,在300~1200nm的平均透射率为0.893%。
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