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近年来,随着微电子技术、微机械加工技术以及无线传感技术的突飞猛进,诸如嵌入式系统、射频识别系统、无线传感器以及各种可植入微型传感器之类的电子产品已经进入集成化、微型化和低功耗的时代,传统的输电线路和化学电池已经不能满足这些微型电子器件的供能要求。基于MEMS技术的振动能量采集器利用压电材料的压电效应,将周围环境中的振动机械能转化为电能,它可以很好的与各种微电子芯片、微传感器和微执行器集成在一起,为微型电子器件提供持久、稳定和清洁的能源。目前,MEMS压电振动能量采集器已经成为国内外许多研究小组的研究