【摘 要】
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随着科学技术的发展及社会对于先进制造能力的需求,制造业发展水平与加工精度的变化一日千里,从毫米级到微米级,再到现在的纳米级,高精度的加工质量需要高精度的测量技术保证。在众多的精密测量技术中,干涉测量法凭借着高精度、高效率、全光场、无损伤测量的优势,在物理、工业制造、生物和医学等各种应用领域已经成为一种重要的工具。而在多种干涉测量法中,白光干涉测量法因其宽光谱、短相干长度的光源的特性,是一种适用于反
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随着科学技术的发展及社会对于先进制造能力的需求,制造业发展水平与加工精度的变化一日千里,从毫米级到微米级,再到现在的纳米级,高精度的加工质量需要高精度的测量技术保证。在众多的精密测量技术中,干涉测量法凭借着高精度、高效率、全光场、无损伤测量的优势,在物理、工业制造、生物和医学等各种应用领域已经成为一种重要的工具。而在多种干涉测量法中,白光干涉测量法因其宽光谱、短相干长度的光源的特性,是一种适用于反射式三维形貌光学测量方法。本文对白光干涉测量法进行研究,在白光相移干涉测量过程中,通过PZT实现干涉测量
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