论文部分内容阅读
本文在分析大量国内外文献的基础上,对ATO导电材料的性能与应用及其制备方法进行了综述。SnO2薄膜作为新型功能材料,在现代技术领域得到了广泛的应用。在此基础上,确定了采用溶胶-凝胶提拉法制备SnO2薄膜的工艺。以无机金属盐SnCl2·H2O和SbCl3为原料,采用溶胶凝胶提拉法制备得到组成、微观结构、电学性能良好的掺锑SnO2薄膜。本文系统研究了热处理温度、薄膜厚度和Sb掺杂浓度对SnO2薄膜微观结构、薄膜组成的影响,并分析了薄膜的形成机理和导电机理。溶胶凝胶