【摘 要】
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该论文采用原位拉曼光谱技术和原子力显微术(AFM),对大直径硅抛光片表面组织形貌和化学键在稀氢氟酸(DHF)、HF/HO/HO、HF/NHF/HO(BHF)、NHOH/HO/HO(SC-1)、以及HCl/HO/HO(SC-
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该论文采用原位拉曼光谱技术和原子力显微术(AFM),对大直径硅抛光片表面组织形貌和化学键在稀氢氟酸(DHF)、HF/H<,2>O<,2>/H<,2>O、HF/NH<,4>F/H<,2>O(BHF)、NH<,4>OH/H<,2>O<,2>/H<,2>O(SC-1)、以及HCl/H<,2>O<,2>/H<,2>O(SC-2)中的变化过程进行了系统深入的研究.
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